在半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)中，過濾墊片是保障氣體潔凈度的關(guān)鍵元件，其性能直接影響著整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。深圳恒歌研發(fā)的金屬過濾墊片，以全金屬結(jié)構(gòu)為核心，結(jié)合卓越的過濾性能，成為半導(dǎo)體氣體過濾領(lǐng)域的可靠之選。

金屬過濾墊片采用 316L 不銹鋼整體打造，這種材質(zhì)具有優(yōu)異的耐腐蝕性和耐高溫性，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中各種復(fù)雜的氣體環(huán)境和高溫工藝條件。與傳統(tǒng)的非金屬過濾墊片相比，金屬材質(zhì)從根本上避免了因材料老化、分解而產(chǎn)生微粒的問題，確保不會(huì)對氣體造成二次污染，為氣體的潔凈度提供了堅(jiān)實(shí)保障。

作為專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過濾元件，金屬過濾墊片在接口適配性上表現(xiàn)出色，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。這使得它能夠輕松應(yīng)用于不同規(guī)格的氣體管路中，無論是在 MFC 模塊、精密閥門還是穩(wěn)壓設(shè)備的前端過濾，都能實(shí)現(xiàn)完美對接，為各類精密設(shè)備提供有效的顆粒防護(hù)。

安裝便捷性是金屬過濾墊片的一大優(yōu)勢。它采用墊片式設(shè)計(jì)，作為表面密封的過濾元件，安裝時(shí)無需對管道進(jìn)行切割或焊接等復(fù)雜操作，只需按照標(biāo)準(zhǔn)的 VCR 接口安裝流程進(jìn)行緊固即可。這種安裝方式不僅簡化了操作步驟，縮短了安裝時(shí)間，還降低了因安裝過程不當(dāng)而導(dǎo)致的泄漏風(fēng)險(xiǎn)，確保系統(tǒng)的密封性和安全性。

金屬過濾墊片的過濾精度≥0.3μm，能夠高效攔截氣體中的微小顆粒，防止這些顆粒進(jìn)入敏感的氣體組件。在半導(dǎo)體制造中，這些微小顆粒可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備磨損、性能下降，甚至引發(fā)氣體泄漏等嚴(yán)重問題。金屬過濾墊片的高效過濾能力，能夠最大限度地減少顆粒污染帶來的危害，延長設(shè)備的使用壽命，降低維護(hù)成本。

考慮到不同半導(dǎo)體系統(tǒng)的壓力需求，金屬過濾墊片分為適用于高壓系統(tǒng)管路和低壓系統(tǒng)管路(VCR 過濾墊片)兩種類型。適用于高壓系統(tǒng)的金屬過濾墊片，1/2’’規(guī)格的最大正向壓差可達(dá) 2.9Mpa，1/4'' 規(guī)格的最大正向壓差高達(dá) 10.4Mpa，流量范圍在 0~300slpm，能夠滿足高壓、大流量場景的過濾需求;適用于低壓系統(tǒng)的金屬過濾墊片，最大使用壓力為 0.98Mpa，流量范圍在 0~100slpm，同時(shí)提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度選擇，可根據(jù)不同的工藝要求靈活搭配。

金屬過濾墊片還具備在現(xiàn)有配管上安裝的能力，這為半導(dǎo)體企業(yè)的設(shè)備升級(jí)和改造提供了極大的便利。企業(yè)無需對現(xiàn)有的管路系統(tǒng)進(jìn)行大規(guī)模改動(dòng)，就能快速更換或加裝金屬過濾墊片，提升系統(tǒng)的過濾性能，以經(jīng)濟(jì)高效的方式實(shí)現(xiàn)氣體潔凈度的提升。

在半導(dǎo)體制造過程中，泄漏風(fēng)險(xiǎn)是必須嚴(yán)格防范的問題。金屬過濾墊片通過與 VCR 接口的緊密配合，形成可靠的密封，同時(shí)其高效的過濾性能減少了微粒對密封面的磨損，進(jìn)一步降低了泄漏風(fēng)險(xiǎn)，為半導(dǎo)體工廠的安全生產(chǎn)提供了有力保障。

深圳恒歌始終致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供高品質(zhì)的過濾解決方案，金屬過濾墊片便是其中的重要成果。它憑借全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性、優(yōu)異的過濾性能、便捷的安裝方式和廣泛的適配性，成為半導(dǎo)體氣體過濾的理想選擇，為半導(dǎo)體企業(yè)的穩(wěn)定生產(chǎn)和產(chǎn)品質(zhì)量提升提供了堅(jiān)實(shí)支持。

無論是在大規(guī)模的半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，還是在精密的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室中，金屬過濾墊片都能發(fā)揮穩(wěn)定可靠的過濾作用，為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)輸送潔凈的氣體。選擇恒歌金屬過濾墊片，就是選擇了一種高效、可靠、經(jīng)濟(jì)的過濾方案，讓半導(dǎo)體設(shè)備在潔凈的環(huán)境中高效運(yùn)轉(zhuǎn)，為產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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