在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的當(dāng)下，工藝精度不斷提升，對(duì)高純氣體的潔凈標(biāo)準(zhǔn)提出了前所未有的高要求。恒歌半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器憑借自主研發(fā)的核心技術(shù)與精細(xì)化制造工藝，打破傳統(tǒng)過(guò)濾設(shè)備的性能局限，為半導(dǎo)體制造、光伏及微電子等領(lǐng)域提供穩(wěn)定、高效的氣體凈化保障，...

半導(dǎo)體制造的氣體輸送系統(tǒng)如同 “精密血管網(wǎng)絡(luò)”，從集成氣體輸送(IGS)面板到高壓氣體箱，不同節(jié)點(diǎn)對(duì)過(guò)濾的需求千差萬(wàn)別。恒歌科技微電子半導(dǎo)體過(guò)濾器系列以 “場(chǎng)景化設(shè)計(jì)” 為核心，用 SF、HF 等系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)全場(chǎng)景精準(zhǔn)適配。

半導(dǎo)體制造中的 MFC(質(zhì)量流量控制器)、精密閥門等設(shè)備，堪稱 “嬌貴的核心”—— 一旦被微粒侵襲，可能出現(xiàn)流量控制偏差、閥門卡滯等問(wèn)題，直接影響工藝穩(wěn)定性。恒歌科技 MF 系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器，就像一道 “隱形屏障”，為這些精密設(shè)備筑起...

半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器_超高壓氮?dú)鈿錃飧呒冞^(guò)濾器大型設(shè)備

BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過(guò)濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...

BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求，整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...

MF系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過(guò)濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過(guò)濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...

HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制成，具有良好的機(jī)械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點(diǎn)；濾芯式的設(shè)計(jì)可更換濾芯,可以重復(fù)使用，使用壽命長(zhǎng)；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì)，改善下游干燥機(jī)的功能，延長(zhǎng)精密...

在半導(dǎo)體制造的微觀世界里，哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)嚴(yán)重的缺陷，從而影響整個(gè)電子產(chǎn)品的性能和可靠性。因此，對(duì)于高壓高純氣體輸送系統(tǒng)中的氣體純凈度有著嚴(yán)苛的要求，這使得專業(yè)的氣體過(guò)濾設(shè)備成為了關(guān)鍵所在，而恒歌 HF 系列高壓氣...

半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器是一種專門的過(guò)濾裝置，用于去除半導(dǎo)體制造中使用的氣體中的顆粒、水分和碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。