恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長(zhǎng)壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌納米級(jí)高壓氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)量身打造。其采用堅(jiān)固的 316L 不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力達(dá) 50Mpa，重量相對(duì)較輕，實(shí)現(xiàn)輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì)，線型結(jié)構(gòu)緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和質(zhì)量，為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

?在半導(dǎo)體、光伏、新能源和制藥行業(yè)，超高純氣體過濾器已成為氣體輸送系統(tǒng)中不可或缺的組件。國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)(SEMI)在 F20 與 F38 標(biāo)準(zhǔn)中明確指出，氣體管道中顆粒物濃度必須嚴(yán)格控制，否則將直接影響工藝良率和設(shè)備壽命。隨著芯片...

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能過濾設(shè)備，過濾精度高，耐高壓耐腐蝕耐高溫！

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成，通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等雜質(zhì)去除，并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..

電子氣作為半導(dǎo)體制造的 “血液”，其純度直接影響芯片的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)打造，為電子氣的潔凈輸送提供堅(jiān)實(shí)保障。