在微電子半導體晶圓制程中，工藝氣體的供應效率與過濾質(zhì)量是提升生產(chǎn)效率的重要因素。深圳恒歌推出的微電子半導體晶圓制程工藝氣體過濾終端 316L 外殼快速進氣擴散器，將擴散器的快速進氣特性與高效過濾功能相結合，為晶圓制程提供高效、潔凈的氣體供應解決方案。

這款過濾終端專為半導體制程設計，采用不銹鋼粉末燒結介質(zhì)，具備快速排氣(進氣)能力。在晶圓制程的真空腔體放氣與進氣環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)設備往往因氣體流動速度慢而延長工藝周期，而恒歌的快速進氣擴散器能大幅縮短氣體交換時間，提高單位時間內(nèi)的晶圓處理量，直接助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率。

其 316L 不銹鋼外殼不僅賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐腐蝕、耐高溫、耐高壓性能，還能有效減少工藝腔體排氣時的湍流。在晶圓傳輸與工藝處理過程中，湍流可能導致腔體內(nèi)顆粒漂浮，增加硅片污染風險。該過濾終端通過穩(wěn)定的氣流控制，確保工藝氣體在流動過程中保持平穩(wěn)，避免對晶圓和工藝環(huán)境造成干擾。

此外，產(chǎn)品適用于多種工藝氣體，無論是惰性氣體還是反應性氣體，都能實現(xiàn)高效過濾，滿足不同晶圓制程的需求。每臺設備均在潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試和包裝，并通過 100% 完整性測試與 100% 氨氣泄露檢測，確保在微電子半導體高潔凈度要求的環(huán)境中穩(wěn)定運行。針對不同晶圓生產(chǎn)線的安裝空間限制，恒歌還可提供定制化設計，讓設備完美適配現(xiàn)有生產(chǎn)線布局。

產(chǎn)品特點：

1、快速進氣 / 排氣設計：縮短氣體交換時間，提升制程效率。

2、316L 不銹鋼外殼：適應惡劣工藝環(huán)境，耐用性強。

3、多工藝氣體適配：滿足不同晶圓制程的氣體需求。

4、潔凈室生產(chǎn)檢測：保障產(chǎn)品潔凈度，符合高標準要求。

5、防湍流氣流控制：保護晶圓不受氣流干擾，降低污染風險。

作為微電子半導體晶圓制程的關鍵輔助設備，這款過濾終端憑借高效、穩(wěn)定的性能，成為企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、提升產(chǎn)品競爭力的重要選擇。