在半導體制造中，大宗氣體作為關鍵生產原料，其純度直接關系到晶圓制程的穩(wěn)定性與產品合格率。深圳恒歌專注半導體領域需求，推出供應半導體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用設計，以全金屬結構的可靠性與高效過濾性能，成為大宗氣體終端處理的核心設備。

這款全金屬氣體過濾器采用不銹鋼粉末燒結介質，不僅實現(xiàn)了快速排氣功能，滿足真空腔體快速放氣的生產節(jié)奏，更具備高達 0.003um 的過濾精度。在半導體大宗氣體傳輸與終端使用環(huán)節(jié)，即使微量的顆粒雜質也可能附著在晶圓表面，導致電路缺陷或工藝失敗。而該過濾器能精準攔截氣體中的微小顆粒，有效防止微?；烊牍に嚽惑w，從源頭保障大宗氣體的超純品質，直接助力企業(yè)提高產品合格率。

產品采用整體 316L 不銹鋼打造的全金屬結構，區(qū)別于傳統(tǒng)非金屬過濾器，具備更優(yōu)異的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，能輕松應對半導體制造中各類工藝氣體(如惰性氣體、反應性氣體等)的嚴苛工況，長期使用不易變形或損壞，大幅延長設備使用壽命。同時，獨特的結構設計還能有效減少工藝腔體排氣時的湍流產生 —— 湍流不僅會破壞腔體內部的穩(wěn)定環(huán)境，還可能吹起殘留顆?；驍_動硅片，影響制程精度，而該過濾器的平穩(wěn)氣流設計則徹底規(guī)避了這一風險。

為確保產品品質與潔凈度，該過濾器全程在潔凈室環(huán)境內完成制造、測試與包裝，每一臺設備均通過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測，杜絕任何潛在的泄漏隱患與品質問題。針對不同半導體工廠的安裝空間與工藝需求，恒歌還提供定制化設計服務，讓設備能靈活適配各類終端布局，進一步提升使用便捷性與兼容性。

產品特點：

1、全金屬 316L 不銹鋼結構：耐極端工況，耐用性更強

2、0.003um 高精度過濾：攔截微小顆粒，保障氣體超純

3、快速排氣設計：適配真空腔體放氣需求，提升效率

4、抑制湍流產生：維持氣流平穩(wěn)，保護工藝環(huán)境

5、雙重嚴格檢測：100% 完整性 + 氨氣泄露檢測，品質可靠

作為半導體大宗氣體終端的關鍵過濾設備，深圳恒歌這款全金屬氣體過濾器，以 “高潔凈、高穩(wěn)定、高適配” 的核心優(yōu)勢，為晶圓制程工藝提供持續(xù)可靠的氣體保障，助力半導體企業(yè)實現(xiàn)更高效、更優(yōu)質的生產。