在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，每一個(gè)環(huán)節(jié)都關(guān)乎著產(chǎn)品的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的 DF 系列擴(kuò)散器專用過濾器，作為一款專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，正以其卓越的性能，為半導(dǎo)體制造工藝帶來新的變革。

這款半導(dǎo)體制造超純氣體擴(kuò)散器，巧妙地結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達(dá) 0.003um，能夠精準(zhǔn)地?cái)r截氣體中的微小顆粒，為半導(dǎo)體制造提供超純的氣體環(huán)境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝，都離不開這樣高純度的氣體支持，從而有效保障芯片制造的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。

獨(dú)特的全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)是該產(chǎn)品的一大亮點(diǎn)。這種材質(zhì)不僅確保了高效過濾，還能巧妙地規(guī)避湍流的產(chǎn)生。在半導(dǎo)體制程中，湍流可能會(huì)對(duì)工藝室環(huán)境造成嚴(yán)重影響，比如吹起顆粒或者吹起硅片，進(jìn)而影響產(chǎn)品質(zhì)量。而恒歌的擴(kuò)散器專用過濾器則有效解決了這一難題，為工藝室提供穩(wěn)定、潔凈的環(huán)境。

可定制化設(shè)計(jì)也是這款產(chǎn)品備受青睞的原因之一。它能夠靈活適應(yīng)各類安裝空間，無論是空間緊湊的小型工廠，還是布局復(fù)雜的大型制造車間，都能輕松找到合適的安裝方案。這種定制化服務(wù)，充分體現(xiàn)了恒歌以客戶需求為導(dǎo)向的設(shè)計(jì)理念。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)：可快速排氣，滿足真空腔體快速放氣的需求，提高生產(chǎn)效率。

2、整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)：耐腐蝕、耐高溫、耐高壓，保障長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

3、減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流：有效防止對(duì)工藝室環(huán)境的干擾，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

4、適用于多種工藝氣體：無論是常見氣體還是特殊工藝氣體，都能完美適配。

5、潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝：嚴(yán)格遵循高標(biāo)準(zhǔn)，保證產(chǎn)品潔凈度。

6、100% 完整性測(cè)試通過：每一個(gè)產(chǎn)品都經(jīng)過嚴(yán)格檢測(cè)，質(zhì)量可靠。

恒歌半導(dǎo)體制造超純氣體擴(kuò)散器，憑借其出色的性能和可靠的品質(zhì)，成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升工藝水平、提高產(chǎn)品合格率的理想選擇。