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深圳恒歌 DF 系列氣體擴散器過濾器，是專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用打造的核心裝備。這款產(chǎn)品創(chuàng)新性融合了擴散器的優(yōu)化氣流特性與高效過濾器的精密攔截能力，通過獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計，在實現(xiàn) 0.003μm 超高過濾精度的同時，徹底規(guī)避排氣過程...

深圳恒歌DF系列真空腔體快速放氣器，是針對半導(dǎo)體制造中真空腔體高效破真空需求研發(fā)的專用裝備。這款產(chǎn)品打破了“快速排氣與環(huán)境潔凈不可兼得”的行業(yè)瓶頸，通過不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)的高效流通特性與0.003μm精密過濾能力，在實現(xiàn)毫秒級快速放氣的同時...

恒歌全焊接直通型過濾器主要用于去除氣體或液體中的顆粒污染物，確保工業(yè)流體系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。

在半導(dǎo)體制造中，大宗氣體作為關(guān)鍵生產(chǎn)原料，其純度直接關(guān)系到晶圓制程的穩(wěn)定性與產(chǎn)品合格率。深圳恒歌專注半導(dǎo)體領(lǐng)域需求，推出供應(yīng)半導(dǎo)體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用設(shè)計，以全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性與...

在微電子半導(dǎo)體晶圓制程中，工藝氣體的供應(yīng)效率與過濾質(zhì)量是提升生產(chǎn)效率的重要因素。深圳恒歌推出的微電子半導(dǎo)體晶圓制程工藝氣體過濾終端 316L 外殼快速進氣擴散器，將擴散器的快速進氣特性與高效過濾功能相結(jié)合，為晶圓制程提供高效、潔凈的氣體供應(yīng)...

半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細分設(shè)計，實現(xiàn)了對半導(dǎo)體多工藝...

在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設(shè)備實現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過濾片，是真空系統(tǒng)的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環(huán)過濾器，是真空系統(tǒng)中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流，還能在短時間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS等高科技產(chǎn)業(yè)中，氣體的純度對產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率有著至關(guān)重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結(jié)工藝領(lǐng)域的深厚積累，精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計的特氣柜電子氣氣體過濾器，為這些行業(yè)提供了...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，氣體的高純度是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過濾器，采用先進的納米級過濾技術(shù)，能夠高效去除氣體中的微小雜質(zhì)，確保氣體的高純度。該過濾器采用堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計壓力高達50Mp...