
半導(dǎo)體潔凈室對氣路系統(tǒng)的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致潔凈度下降,影響產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為核心,實(shí)現(xiàn)了 “零泄漏” 的密封效果,為半導(dǎo)體潔凈室提供可靠的工藝...

這款半導(dǎo)體制造超純氣體擴(kuò)散器,巧妙地結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達(dá) 0.003um,能夠精準(zhǔn)地?cái)r截氣體中的微小顆粒,為半導(dǎo)體制造提供超純的氣體環(huán)境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣...

恒歌MF系列儀器保護(hù)專用過濾器,全金屬材質(zhì),專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。

恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規(guī)格的氣阻配件靈活組合,可便捷安裝于壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)等對氣體流量穩(wěn)定性要求極高的場景下,它能有效防止意外高氣體流量,保護(hù)系統(tǒng)穩(wěn)定可靠運(yùn)行,減少氣體流動負(fù)擔(dān),...

不銹鋼氣源處理器三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成。該產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì),具有耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等特點(diǎn)??諝膺^濾器用于凈化氣源,過濾壓縮空氣中的水分和雜質(zhì);減壓閥則對氣源進(jìn)行穩(wěn)壓,確保氣壓恒定,保護(hù)氣動系統(tǒng)中的閥門和執(zhí)行...

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

恒歌憑借先進(jìn)的制造技術(shù)和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),提供VCR墊片定制服務(wù)!VCR 墊片過濾器可滿足不同工作條件的嚴(yán)格要求。這些過濾器由燒結(jié)不銹鋼等優(yōu)質(zhì)材料具有出色的耐腐蝕性、耐高溫性耐用性和長使用壽命,使其成為半導(dǎo)體、制藥、和化學(xué)品。恒歌VCR 墊片...

HF系列高壓氣體專用過濾器,用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮?dú)獾?。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,同時精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。

恒歌在線式大宗氣體系統(tǒng)過濾器專為半導(dǎo)體工藝氣體凈化設(shè)計(jì),憑借卓越的過濾性能、可靠的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與嚴(yán)格的質(zhì)量管控,成為半導(dǎo)體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設(shè)備,為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障,助力提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。

VCR超潔凈接頭,耐超高壓性,不銹鋼材質(zhì),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,太陽能,生物醫(yī)藥等領(lǐng)域的特種氣體輸送。VCR接頭具有高純度的面密封性,使其在真空至正壓范圍內(nèi)可以反復(fù)拆裝(需換墊片)。