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薄膜沉積過(guò)程中，氣體若含有微?；驘N類污染物，會(huì)導(dǎo)致薄膜孔洞、剝落或電性失效。例如，在CVD工藝中，顆粒物可能成為成核點(diǎn)，引起不均勻沉積;在PVD中，污染物可能干擾濺射靶材的純度。過(guò)濾器能消除湍流和顆粒攜帶問(wèn)題，確保氣流平穩(wěn)，防止工藝腔體污染...

深圳恒歌的不銹鋼真空泵過(guò)濾片，是真空系統(tǒng)的高純度保障。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無(wú)論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

深圳恒歌的真空卡環(huán)過(guò)濾器，是真空系統(tǒng)中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，還能在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流，確保真空系統(tǒng)的高效運(yùn)行。特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備接口及各類真空室的通風(fēng)，無(wú)論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝，都...

不銹鋼濾器采用316L金屬粉末為原材料，無(wú)需添加黏合劑，經(jīng)冷等靜壓成型后，通過(guò)高溫真空燒結(jié)制成。通過(guò)選配金屬粉末顆粒尺寸與工藝參數(shù)，調(diào)整孔隙大小與分布。恒歌可提供不同材質(zhì)和尺寸的燒結(jié)金屬粉末元件，可以在較惡劣的溫度、壓力和腐蝕工況下使用

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，具備出色的穩(wěn)定性，可確保產(chǎn)品完整性能夠達(dá)到 3.000.000 次循環(huán)，顯示出了較高的耐用程度和可...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗...